電子プローブマイクロアナライザー
日本電子製 JXA-8200型、JCMA-733II型
[J306室、J307室]
電子銃から放出された電子線をレンズを用いて1 μm 程度に細く絞り，試料に照射します。 試料表面から発生した特性Ｘ線の強度を測定することにより，試料の微小部位の構成元素を非破壊で調べることができます。 金属，岩石，セラミックス，半導体材料など広い分野の元素分析や微細組織の観察などに利用されます。
JXA-8200型
特徴
- 最小分析範囲：1 μmφ
- 分析可能元素：B ～ U
利用について
- 利用可能研究設備詳細
- 相互利用：ご希望の方は、担当者へお問い合わせください
- 依頼測定：ご希望の方は、担当者へお問い合わせください
担当者
- 技術センター 柴田 恭宏 (E-mail: yasshibata
hiroshima-u.ac.jp)
