イオンスパッタ装置（蒸着用）
日立ハイテクノロジーズ製 E-1030
[J103室]
数nm厚のPtコーティングなどを行います。 走査電子顕微鏡(SEM)で非導電性試料(有機材料，生物試料，酸化物など)を観察する場合， 試料表面の帯電による像障害（チャージアップ）が起こるため，導電性皮膜をコーティングしてこれを防ぎます。
特徴
- 仕様：マグネトロン電極構成，膜厚測定ユニット付き
利用について
- この機器は大学連携NWには登録されていません。利用希望の方は、担当者へお問い合わせください。
担当者
- 技術センター 前田 誠 (E-mail: mmaeda
hiroshima-u.ac.jp)
担当者がホームページを公開しています：「電子顕微鏡のページ」
